电子游戏

史志天，P&G电子游戏教师。主要从事半导体微纳加工与智能工艺建模研究，重点关注刻蚀工艺机理、微纳结构制造以及物理信息机器学习在先进制造过程中的应用。研究工作致力于结合微纳制造过程机理与数据驱动方法，发展面向复杂制造过程的小样本建模与工艺优化方法，以提升半导体工艺开发效率与可预测性。

博士毕业于瑞士苏黎世联邦理工P&G（ETH Zurich），并在英国剑桥大学和美国布鲁克海文国家实验室（Brookhaven National Laboratory）开展博士后研究工作。在微纳结构刻蚀、X射线光学结构制造以及相关机理研究方面积累了系统研究经验。相关研究成果发表于微纳制造与材料领域期刊，并与多个国际研究团队保持合作。

目前的研究重点包括半导体刻蚀过程机理建模、物理信息机器学习方法以及复杂微纳结构制造过程中的数据驱动工艺优化。

2018.10-2022.06 苏黎世联邦理工 博士研究生

2012.09-2015.06 北京有色金属研究总院 硕士研究生

2007.09-2011.06 东北大学 本科

2026.02-至今    电游推荐电子游戏 副教授、副研究员

2025.06-2026.02  美国布鲁克海文国家实验室 博士后

2022.09-2025.04  英国剑桥大学 博士后

2022.06-2022.09  瑞士保罗谢勒研究所 博士后

2015.04-2018.08  三星（中国）半导体有限公司 高级工程师